MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分 析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030操作簡便，易于維護(hù)。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

? 10ppb-靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

? 易于移動從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

? 同時分析和顯示多達(dá)30種氣體

? 分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

? 保護(hù)的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

? 頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

? 提供自動溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

? 用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

光譜分析

Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件，它能同時分析和報道許多混合 物的濃度，這個能在個人電腦上運(yùn)行的軟件， 能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的 變化進(jìn)行自動修正。樣本的收集和分析在一 秒內(nèi)完成，進(jìn)行瞬時分析。

整個數(shù)據(jù)整理過程中，MultiGas 軟件一邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不 斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光 譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差， 使得QA/QC變得簡單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有 被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的" 光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這 些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零 點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。

對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計，2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中較快速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對高溫，振動和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是 標(biāo)準(zhǔn)的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個分光計連接到一個小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的氣室，這個氣室的設(shè)計結(jié)合了非球面的， 非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇，一個單變換 的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收 率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到 191℃之間操作。

儀器的自主校準(zhǔn)

MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖，能提供 一個動態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級.許多核數(shù)的校準(zhǔn)都由其提供，另外，用戶也可以通過 已知的濃度來進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas 軟件檢驗(yàn)每個工具的性能的效用，使它能把一個已經(jīng) 在一臺機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺機(jī)器上，而且不用變更。

MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀規(guī)格

分析儀主機(jī)

分析儀采樣參數(shù)

分析儀氣體室

檢測極限